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爱德华磁悬浮涡轮泵养护维修 广州潽拓光电
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最后更新: 2024-05-31 23:14
 
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广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮涡轮泵养护维修

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   莱宝Leyboldturbovac MAG W 3200涡轮分子泵     TURBOVAC MAG W 3200C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,爱德华磁悬浮涡轮泵养护维修,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;-离子注入;- CVD;-光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象,选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。

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